PS-6/PS-6N半導(dǎo)體特氣檢測探頭
產(chǎn)品概述：
PS-6/PS-6N系列是針對半導(dǎo)體制造工藝中特種氣體檢測需求開發(fā)的高精度傳感設(shè)備，適用于無塵車間、氣體輸送管路及工藝腔室等場景。該產(chǎn)品通過模塊化設(shè)計實現(xiàn)對多種高風(fēng)險氣體的穩(wěn)定監(jiān)測，為半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境的安全性及工藝穩(wěn)定性提供有效保障。
核心特點：
• 靈敏監(jiān)測：采用寬量程傳感技術(shù)，可覆蓋ppb至ppm級濃度檢測，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對痕量氣體泄漏的監(jiān)測需求。
• 快速響應(yīng)：優(yōu)化氣路結(jié)構(gòu)與信號處理算法，實現(xiàn)毫秒級異常響應(yīng)速度，配合智能濾波功能減少環(huán)境干擾誤報。
• 環(huán)境適應(yīng)：主體結(jié)構(gòu)采用316L不銹鋼與全密封設(shè)計，在-20℃至+60℃溫度范圍及95%RH濕度條件下保持穩(wěn)定運行。
• 維護便捷：模塊化傳感器支持帶電插拔更換，配備自診斷功能實時反饋設(shè)備狀態(tài)，顯著降低運維成本。
應(yīng)用領(lǐng)域：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造中的CVD、蝕刻、離子注入等工藝環(huán)節(jié)，兼容氫氣、硅烷、磷化氫、氟化氫等20余種高危氣體的檢測需求。同時可適配光伏電池片生產(chǎn)、LED外延片制備等精密電子制造場景。
系統(tǒng)兼容：
PS-6N型號內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字通信接口，支持RS-485/MODBUS協(xié)議，可無縫接入工廠DCS/SCADA系統(tǒng)。雙型號均提供4-20mA模擬量輸出，兼容主流氣體報警控制器。
產(chǎn)品價值：
通過精準(zhǔn)的實時監(jiān)測與數(shù)據(jù)追溯功能，幫助用戶優(yōu)化氣體管理體系，降低生產(chǎn)中斷風(fēng)險，為半導(dǎo)體制造過程的品質(zhì)控制與人員安全防護提供可靠的技術(shù)支持。
