上海雙旭DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)

廠家：上海雙旭電子有限公司

產(chǎn)品參數(shù)

• 型號(hào)：DH-500ZZS
• 類型：箱式、電子束蒸發(fā)
• 真空室尺寸：通常直徑約500mm（具體以實(shí)際規(guī)格為準(zhǔn)）
• 極限真空度：通常優(yōu)于5.0×10^-4Pa
• 工作真空度：通常為1.0×10^-2~3.0×10^-3Pa范圍
• 電子槍功率：常見配置為6kW/8kW/10kW等可選
• 蒸發(fā)源：多坩堝設(shè)計(jì)（如4穴或6穴），可預(yù)裝多種鍍膜材料
• 膜厚控制：配備晶振膜厚監(jiān)測(cè)儀，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)過程控制
• 抽氣系統(tǒng)：通常由機(jī)械泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵或分子泵組成
• 控制系統(tǒng)：PLC自動(dòng)控制，觸摸屏人機(jī)界面

使用注意事項(xiàng)

• 真空系統(tǒng)操作：嚴(yán)格遵循抽氣與充氣順序，防止油蒸汽倒灌或真空室受損。
• 電子槍使用：避免空載或過載發(fā)射，更換坩堝或加料時(shí)需切斷高壓并充分冷卻。
• 冷卻水：確保冷卻水壓、流量與水質(zhì)符合要求，防止設(shè)備過熱。
• 鍍膜材料：使用高純度材料，防止污染；添加材料時(shí)需清潔，避免引入雜質(zhì)。
• 維護(hù)保養(yǎng)：定期清潔真空室、更換泵油、檢查密封件，保持系統(tǒng)密封性。
• 安全防護(hù)：操作時(shí)需佩戴防護(hù)裝備，注意高壓、輻射及高溫部位。
• 環(huán)境要求：設(shè)備應(yīng)置于潔凈、低震動(dòng)、通風(fēng)良好的環(huán)境中。