PS-6AH/PS-6NH系列半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭是針對(duì)半導(dǎo)體制造、電子元器件生產(chǎn)等精密工業(yè)場(chǎng)景研發(fā)的氣體監(jiān)測(cè)設(shè)備。該產(chǎn)品采用模塊化設(shè)計(jì)，通過(guò)高靈敏度的傳感技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)多種特殊氣體的實(shí)時(shí)檢測(cè)與濃度分析，為工業(yè)環(huán)境安全提供可靠保障。
在技術(shù)特性方面，PS-6AH/PS-6NH搭載了新型氣體識(shí)別算法，能夠有效區(qū)分目標(biāo)氣體與干擾氣體，降低誤報(bào)風(fēng)險(xiǎn)。其核心傳感器部件經(jīng)過(guò)特殊工藝處理，具備較強(qiáng)的抗化學(xué)腐蝕能力和環(huán)境適應(yīng)性，可在溫度-20℃至50℃、濕度10%-95%的寬泛范圍內(nèi)保持穩(wěn)定運(yùn)行。設(shè)備內(nèi)置溫度補(bǔ)償模塊，有效消除環(huán)境波動(dòng)對(duì)檢測(cè)精度的影響，測(cè)量誤差控制在±2%FS以?xún)?nèi)，響應(yīng)時(shí)間最快可達(dá)3秒，滿足工業(yè)場(chǎng)景的快速監(jiān)測(cè)需求。
針對(duì)半導(dǎo)體制造中常見(jiàn)的氣體類(lèi)型，PS-6AH型號(hào)特別優(yōu)化了對(duì)硅烷、磷化氫等腐蝕性氣體的檢測(cè)靈敏度，而PS-6NH型號(hào)則強(qiáng)化了在氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w環(huán)境中的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。產(chǎn)品外殼采用316L不銹鋼與特種工程塑料復(fù)合結(jié)構(gòu)，兼顧機(jī)械強(qiáng)度與電磁兼容性，防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP65，適用于潔凈室、管道系統(tǒng)等多種安裝環(huán)境。
在功能性設(shè)計(jì)上，該系列探頭支持4-20mA模擬信號(hào)與RS-485數(shù)字信號(hào)雙輸出模式，兼容主流工業(yè)控制系統(tǒng)。設(shè)備配置的LED狀態(tài)指示燈和聲光報(bào)警裝置，可實(shí)現(xiàn)本地化監(jiān)控與預(yù)警。維護(hù)模塊采用插拔式設(shè)計(jì)，便于現(xiàn)場(chǎng)快速更換傳感器部件，有效降低運(yùn)維成本。
該產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造、平板顯示面板生產(chǎn)、光伏電池制造等領(lǐng)域的工藝氣體監(jiān)控，同時(shí)也適用于科研實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)氣體儲(chǔ)存等場(chǎng)景。通過(guò)持續(xù)優(yōu)化的檢測(cè)算法和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，PS-6AH/PS-6NH系列在保證檢測(cè)精度的同時(shí)，顯著提升了設(shè)備使用壽命，平均無(wú)故障運(yùn)行時(shí)間超過(guò)36個(gè)月。
生產(chǎn)企業(yè)在開(kāi)發(fā)過(guò)程中注重用戶體驗(yàn)，提供定制化安裝支架和多種規(guī)格的螺紋接口選配方案。設(shè)備支持遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)置與數(shù)據(jù)記錄功能，配備專(zhuān)業(yè)調(diào)試軟件，幫助用戶建立完整的氣體監(jiān)測(cè)體系。通過(guò)嚴(yán)格的生產(chǎn)管控和可靠性測(cè)試，確保產(chǎn)品在復(fù)雜工業(yè)環(huán)境中的穩(wěn)定表現(xiàn)。
